X 射線光電子能譜檢測

專案

細則

收費

說明

手套箱進樣

空氣敏感樣品測試

400元/樣

/

XPS譜圖測試

寬譜和窄譜的掃描

寬譜₪◕₪：280 元/樣； 窄譜₪◕₪：140 元/樣

每超過30min 按 新樣算

XPS成像測試

選區和成像掃描 測試時間≤1h

840元/樣

每超過1h 按 1 個新樣算

深度剖析

Ar 離子刻蝕加元素窄 掃或成像

每層按 2 個樣算 +150 元/次刻蝕費

刻蝕時間 5min/次

主要規格及技術指標

1₪•◕│✘、本底真空度優於5*10-10mbar；

2₪•◕│✘、單色化AlKαX射線源☁↟·••，光斑尺寸200-900um☁↟·••，大光斑極限解析度0.43eV；

3₪•◕│✘、XPS能譜分析尺寸20-900um☁↟·••，平行成像精度1um；

4₪•◕│✘、雙極性半球形分析器☁↟·••，可採集ISS離子散射譜☁↟·••，能量解析度優於12eV；

5₪•◕│✘、配備同軸/離軸雙電子槍☁↟·••，可用於磁性和非磁性絕緣樣品的荷電中和測量☁↟·••，能量解析度0.68eV；

6₪•◕│✘、配有Ar離子刻蝕和團簇離子刻蝕☁↟·••，可用於不同敏感性材料的深度剖析；

7₪•◕│✘、配有反射電子能量損失譜（REELS）,可用於氫元素的定量分析；

8₪•◕│✘、配有俄歇光電子能譜分析（AES）☁↟·••，空間解析度可達95nm☁↟·••，並能夠實現相應的形貌表徵功能（SEM）✘◕│。

 主要功能及特色

1. 該系統透過測量不同元素的芯能級☁↟·••，能夠實現高精度的元素和價態分析✘◕│。
2. 該系統使用X-射線作為光源☁↟·••，能夠採集較大束縛能範圍的光電子能譜資料☁↟·••，實現對材料電子結構的完整表徵✘◕│。
3. 該系統具備微區分析功能☁↟·••，可以針對微米級別的特定區域開展元素組分與電子結構分析☁↟·••，是目前觀測薄膜樣品元素和價態分佈☁↟·••，進而探索其生長機理的工具之一

主要附件配置

1₪•◕│✘、單色化AlKαX射線源☁↟·••，光子能量1486.6eV;

2₪•◕│✘、雙極性半球形分析器☁↟·••，可採集ISS離子散射譜☁↟·••，用於超薄表面的元素鑑定和同位素鑑定；
3₪•◕│✘、配備同軸/離軸雙電子槍☁↟·••，可用於磁性和非磁性絕緣樣品的荷電中和測量；
4₪•◕│✘、配有Ar離子刻蝕和團簇離子刻蝕☁↟·••，可用於不同敏感性材料的深度剖析；
5₪•◕│✘、配有反射電子能量損失譜（REELS）,可用於H元素的分析；
6₪•◕│✘、配有俄歇光電子能譜分析（AES）☁↟·••，空間解析度可達95nm☁↟·••，並能夠實現相應的形貌表徵功能（SEM）；

7₪•◕│✘、配有角分辨ARXPS,用於10nm以內各深度的無損XPS分析✘◕│。