微焦點CT-半導體元器件X射線顯微成像系統是一種基於X射線的成像技術╃│☁▩◕，使用微型計算機斷層掃描技術（Micro Computed Tomography）↟◕。包括掃描和重構兩個主要部分╃│☁▩◕，Micro/Nano 表明其解析度可達到微米/亞微米級別↟◕。